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UL3000 Fab 氦气检漏仪

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移动式氦气检漏仪:专为半导体应用中的检漏需求而设计。

它具有灵活性、移动性、快速启动、高灵敏度、快速和精确的测试结果以及可靠性。

由于更高的空气泵送速度,更快的泵降(排空)时间。

由于低维护的根部粗加工泵,总拥有成本(TCO)更低。

由于HYDRO-S软件消除了水蒸气背景,更早地开始检漏,使得快速达到敏感测量范围成为可能UL3000 Fab ULTRA还通过使用成熟的吸污管线SL3000提供了改进的吸污能力,该吸污管线长度可达10米。SL3000有一个单独的连接端口,因此不需要连接到真空入口。

快速的结果

改进后的真空系统带有低维护的真空泵,可以从大气压开始检测泄漏。坚固的质谱仪系统确保了长时间的运行和低维护成本。

可旋转的显示器和可远程控制的用户接口

新的触摸屏显示,即使在远距离也能显示测试结果和状态信息。通过用户指导的菜单结构,即使是没有经验的操作员也能轻松操作。通过智能手机或平板电脑可以对UL3000 Fab(ULTRA)进行无线控制--无需特殊软件或Apps。通过按钮记录和存储测试结果,可以传输到其他存储介质,以便进一步分析。

纤细的设计,先进的可操作性

低重心、大轮子、符合人体工程学设计的手柄和纤细的外壳使UL3000 Fab (ULTRA)即使在狭小的空间也有良好的移动性。

使用 SMART-Spray 优化泄漏测试 I·BOOST 和 SPRAY-Check

SMART-Spray 大型氦气瓶和笨重的软管,从而增强了检漏功能。它简化了流程,减少了手动氦气流量调整,最大限度地减少了错误。该工具使泄漏检测更快、更简单、更可靠,同时保持较低的氦气消耗量和背景水平。

I-BOOST 是高效、精确检漏的理想选择,可节省高达 50% 的检漏时间。它的响应时间更短,可对各种腔体进行快速、精确的测量,从而提高效率和准确性。此外,SPRAY-Check(喷淋检漏)可确保检漏仪的功能性和就绪状态。它适用于 10-⁹ 至 10-⁸ mbar∙l/s 范围,可在测试过程中提供可靠的检查。