■特点：

● 低压等离子系统，用于不同材料表面的处理

      ● 配置自动/手动模式，实现控制高机能

● 经济型等离子清洗机，小型腔体

●适合于研究院、高校、研发中心使用

      ●操作简单易使用

控制系统

手动控制

工艺气路

单路气体

工艺气体

O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等

流量计

针阀流量计

单体导入

H2O，亲疏水涂层等单体（选配）

真空

腔体

材质

高硼硅玻璃，盖子门带观察窗（石英选配）

不锈钢

内尺寸(Dia.×D)

95×280mm

100×278mm

容积

2L

2.2L

电极

360度外置环绕电极

平行平板电极

发生器*

40KHz 0-100W

13.56MHz 0~50W  

13.56MHz 0~100W  

真空压力计

皮拉尼数字式压力计（选购）

计时器

模拟数字式

托盘

高硼硅玻璃，（石英选配），不锈钢

外形尺寸（WXDxH）mm

345x420（570）x211

电源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排气速度4m3/H