当可靠性分析成为电子器件的重要指标，半导体水汽含量检测也就应运而生，它通过四级质谱分析仪对气体进行识别，并分析其浓度，具有很高的灵敏度和分辨率，真空腔体也保证了检测数据的可靠性。同时，可对微电子元件和多芯片模块、电子元器件、光纤设备和传感器、起搏器和其他医疗设备、大型电子设备和单元，陶瓷双列直插式器件，扁平封装和TO封装等多种模块进行检测，增大了检测范围。