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Sensofar 3D轮廓仪: 助力MEMS三维形貌与缺陷检测

2026-05-08
三维轮廓仪(特别是白光干涉仪)在MEMS制造全流程中扮演着高精度无损检测的角色,主要用于表征微观结构的几何尺寸、薄膜厚度及动态形变,是确保器件性能和可靠性的关键质控手段。以下是其在MEMS领域的具体应用场景:微结构三维形貌重构MEMS器件包含复杂的悬臂梁、梳齿驱动器和微腔体等立体结构。三维轮廓仪能够对这些微小部件进行纳米级精度的三维重构,精确测量台阶高度、侧壁角度及空腔深度。这对于验证刻蚀工...
技术资料

精密器件内部多余物检测技术方案及实施案例

2026-03-18
精密器件内部多余物检测技术方案及实施案例1. 项目背景在密封型晶振产品的生产与质量控制过程中,内部金属多余物(Loose Particle)可能引发频率漂移、相位噪声异常甚至器件失效。由于该类缺陷具有隐蔽性与随机性,单一检测手段难以完成“存在判定 + 空间定位”的完整分析。针对客户批量检测与缺陷确认需求,本项目采用:PIND(Particle Impact Noise Detection)颗...
技术资料

检测手段-半导体水汽含量检测,让产品更可靠

2023-08-24
密封腔体内部的水汽是造成电子元器件失效的主要原因之一,而军标规定在100℃下的内部水汽含量不得超过5000ppm。长期研究发现,符合军用标准的密封元器件,在几个月的贮存期后,其内部的水汽含量普遍可能超标,从而影响电子元器件的可靠性,进而影响到整机设备长期使用的可靠性。所以,对于电子元器件内的水汽含量检测就显得非常重要。半导体水汽含量检测仪专为密封包装、空腔和其他外壳内所含水汽等的定量分析而设...
技术资料

行业应用-工业CT检测在航空航天行业的应用

2023-07-24
工业CT技术,是根据X射线等穿透物体后得到的投影数据,由相应的数学算法,再由计算机处理,将物体特定层面上的二维图像进行建模重建,并依据重建后的二维图像构成三维图像的技术,它主要包括射线源、机械扫描运动系统、探测器和计算机系统等部件。在航空航天领域,对零部件的质量要求更高,因此工业CT检测服务技术的应用也显得尤为重要,其中包括:① 材料内部缺陷的检测;② 对零部件结构尺寸进行测量;③ 对问题产...
技术资料

检测手段-工业CT检测

2022-08-29
‍随着制造业的快速发展,对CT检测设备质量检验提出了更高的要求,严格检测关键、复杂部件甚至内部缺陷,准确检测内部结构尺寸。利用CT检测设备实现对物体内部结构的非接触和非破坏性检测,获取无重叠数据和zd图像不仅能准确地提供物体内部细节的三维位置信息,还能定量提供细节辐射密度数据。‍1.无损检测范围:ICT测试对象。若能传递钢的厚度,检测工件的大旋转直径,检测工件的高度或长度,检测工件的重量。2...
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