Phoenix Nanome|x neo

高分辨率 160/180 kV微米/纳米焦点 X射线检测系统(并可选配CT功能)
phoenix最新的micromeIx neo和nanomeIx neo系列产品将高分辨率的二维X射线技术和三维CT技术集成于一套系统。多项创新设计，以及高的定位精度，使得这套系统成为科学研究、缺陷分析、过程和质量控制等领域可靠有效的解决方案。
phoenix|x-ray x|act技术能够提供简便的基于CAD文件导入的微米级自动检测功能。受益于Waygate Technologies高动态响应和主动冷却特性的DXR平板探测器，使得系统可以实现高达30fps刷新率，提供了实时清晰影像和高速三维CT扫描性能。

性能特点：
• 新引入的100/85微米超小像素尺寸的探测器在检测半导体和小微电子元器时，更为得心应手。
• 检测结束以后检测报告便自动生成，使得检测更为高效便捷。
• x|act软件包技术能够提供基于CAD文件导入的微米级自动检测功能
• 钻石靶能够实现同等影像质量水平下，数据截取速度快2倍
• CT功能可在最快10秒内完成扫描

• 几何放大倍率：max.1970x
• 27 寸显示器总放大倍率：max.2700x
• 27寸2k 显示器总放大倍率：max.2300x
• 最大检测区域：460mm X 460mm
• 最大样品尺寸/重量：680mm X 635mm，10kg
• 最大管电压/靶功率：180kv/15w