特点：

● 便捷的触摸屏操作界面

       ● 数字及图标多重工艺参数实时显示方式

● 异常报警功能

● 自动/手动操作模式可切换

       ● 储存多套工艺程序

       ● 远程操控，数据导出

       ● 模块多样化选择，多层托盘可选，处理量大

控制系统

控制方式

全自动控制（自动/手动切换）

操作系统

Windows/西门子IO工控软件

触摸屏

3.5/7/15

工艺气体气路

1-10路工艺气体可选

流量计

MFC数字气质流量计

真空

腔体

材质

不锈钢/铝合金

尺寸（mm)

W

305

400

305

305

305

572

400

400

600

D

370

625

625

370

620

650

625

625

625

H

305

140

300

300

300

120

400

600

400

容积(L)

34

35

50

34

50

45

100

150

电极

材质

铝/不锈钢电极

层数

1-5层可选

1-10

1-12

发生器

功率（W)

频率（HZ）

40K

0-1500

/

/

80K

0-1000/0-3000

0-1000/0-3000

0-1000/0-3000

100K

/

0-500

/

/

13.56M

0-300/0-600

0-300/0-600

0-600

0-300/0-600/0-1000

2.45G

0-850

0-850

0-1200

0-1200

真空压力计（mba)

皮拉尼传感器（0-9.99)

托盘

不锈钢/铝

实板/镂空

层数

1-5

1-10

1-12

外形尺寸（mm)

W

600

850-1000

600-750

600-650

800

D

800-850

800

800

800

800

H

1700-2100

1700

1700-2100

2100

2100

电源

AC400 V / 16 A

重量

真空泵

排气速度30m3/H

65m3/H

选配件

单体导入模块、远程控制系统、防腐系统、气浴、托盘/腔体冷却系统、加热模块、RIE电极（刻蚀）、石英舟