■特点：

● 低压等离子系统，用于不同材料表面的处理

      ● 配置自动/手动模式，实现控制高机能

● 经济型等离子清洗机，小型腔体

● 适合于研究院、高校、研发中心使用

      ●操作简单易使用

控制系统

手动控制

PCCE 控制系统

工艺气路

双路或三路气体

工艺气体

O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蚀性气体或者CF4 、SF6等腐蚀性气体

单体导入

H2O，亲疏水涂层等单体（选配）

流量计

针阀流量计（防腐蚀）

MFC流量计（防腐蚀）

真空

腔体

材质

高硼硅玻璃腔体，盖子门带观察窗(石英，铰链门选配)

不锈钢腔体盖子门带观察窗

或铰链门

铝合金腔体铰链门

圆形腔体内尺寸(Dia.×D)

95×280mm或600mm

100×278mm或600mm

—

方形腔体内尺寸（W×D×H）

—

103×285或600×103 mm

110×300或600×120 mm

容积

2 L~4.2L

2.2L~6.4L

4L~8L

电极

360度外置环绕电极

平行平板电极

发生器*

40KHz     0~100 W

100KHz    0-500W

13.56MHz   0~50 W

13.56MHz   0~300 W

2.45GHz   0-300W

真空压力计

指针式压力计

皮拉尼数字式压力计

计时器

模拟数字式

数字式

托盘

高硼硅玻璃（石英选配），不锈钢

外形尺寸（WXDxH）mm

310-560x420-600x330-860mm

电源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排气速度不小于4m3/H