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超声波扫描显微镜的特点

文章附图

尽管超声波扫描显微镜家族中的后起之秀,但由于其自身的许多特殊优势,发展速度非常快。

1.仪器分辨率高,可以通过二次电子图像观察样品表面6nm采用左右细节LaB6.电子枪可以进一步增加到3nm。

2.仪器放大范围大,可连续调整。因此,可以根据需要选择不同大小的视场进行观察。同时,在高放大倍数下,还可以获得高亮度的清晰图像,这是普通透射电子显微镜难以实现的。

3.观察样品的景深和大视场,图像具有立体感。您可以直接观察到起伏较大的粗糙表面和样品不均匀的金属断裂图像,让人们有一种参观微观世界的感觉。

4.样品制备简单。只要对块状或粉状样品进行轻微处理或不处理,就可以直接放入扫描电子显微镜中进行观察,从而更接近材料的自然状态。

5.图像质量可以通过电子方法进行控制和改进,如自动保持亮度和对比度、样品倾斜角度校正、图像旋转,或通过Y调制改进图像对比度的容忍度,以及图像各部分的中等亮度度。使用双放大倍数装置或图像选择器在荧光屏幕上观察不同放大倍数的图像。

6.可以进行综合分析。安装波长色散x射线谱仪(WDX)或能量色散x射线谱仪(EDX),具有电子探针的功能,还可以检测样品发出的反射电子、X射线、阴极荧光、透射电子、俄罗斯休息电子产品等。将超声波扫描显微镜扩展到各种显微分析和微区域,显示扫描电子显微镜的多功能。此外,您还可以在观察外观图像的同时分析样品的微区域;安装半导体样品座附件,通过电动势放大器直接观察晶体管或集成电路PN结和微观缺陷。由于许多扫描电子探测器实现了电子计算机的自动和半自动控制,定量分析的速度大大提高。

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